大仪平台下设的光电薄膜实验室共拥有2套大型仪器,为磁控溅射系统和激光皮秒测试系统,主要用于制备纳米级薄膜样品和光致相变研究。

图1 磁控溅射系统(左)和激光皮秒测试系统(右)
实验室立足材料科学前沿,在二维相变材料与微纳器件、碳纳米材料与器件、新型柔性半导体器件研发等方向上进行了一系列开创性的工作并取得了独特优势。各个研究方向相互关联、相互支撑,形成了以新材料开发、微纳器件构筑为特色,以相变、柔性可穿戴、智能化等一系列面向未来关键主题为核心的科研团队体系。
实验室培养的毕业生中,依靠光电薄膜实验室的实验设备测试的实验数据撰写的毕业论文,共有3份研究生毕业论文被评为江苏理工学院优秀硕士学位论文,具体为《用于低功耗新型存储器关键部件的锌锑基材料可控制备工艺及性能研究》(胡益丰教授指导、张锐为作者),《氧化铪间隔层对相变材料及器件性能的调控研究》(胡益丰教授指导、许竣博为作者)、《Sb/InSbTe相变薄膜制备及器件的性能研究》(胡益丰教授指导、高士伟为作者)。

图2 使用本磁控溅射溅射仪制备的多层薄膜的电镜图像
此外,多篇论文中涉及的透射电镜形态部分的薄膜均由本实验室的磁控溅射仪制备,这些图像鲜明、直观地反映了多层相变薄膜清晰且规律的周期性结构,表明了仪器制备的精密性与准确性。根据我校学科的特点以及学生研究方向的选择,光电薄膜实验室为在读的研究生提供了相对应的实验研究需求,让每位学生顺利完成了优秀的硕士答卷,为我校优秀科研人才培养提供了有力的支撑。

图3 本研究中心研究生获得的国家奖学金证书
光电薄膜实验室自2016年开始硕士研究生培养,现有在读研究生8人,累计毕业研究生13人,发表SCI论文36余篇,获得国家奖学金4人次,省级三好研究生1人次,优秀毕业生13人次,毕业生考入南京大学、东南大学、西安交通大学等高校继续攻读博士学位10人。学生通过磁控溅射仪制备的薄膜产出了大量实验成果,并多次发表在ACS Applied Materials & Interfaces、npj Flexible Electronics、Applied Surface Science、Applied Physics Letters、Journal of Alloys and Compounds等高水平期刊上。
(数理学院胡益丰供稿)
